Funktionalisierung nanoskaliger Partikeln im gasgetragenen Zustand durch CVD

Aerosol-CVD ermöglicht ein sehr hohes Maß an Strukturkontrolle und Variabilität.

Dieses Verfahren zur Partikelfunktionalisierung basiert auf der Beschichtung mit Metallen oder Oxiden durch chemische Gasphasenabscheidung (CVD). Das Verfahren ermöglicht eine einzigartige Kontrolle über die Struktureigenschaften wie Größe und Oberflächentextur der Trägerpartikeln sowie Größe und Anzahldichte geträgerter Edelmetallpartikeln bzw. Schichtdicken von oxidischen Schalenstrukturen. 

 Wir sind in der Lage eine Vielzahl von Strukturen zu erzeugen, von einfachen Mischoxiden über geträgerte metallische Inseln (Abb. 1) bis hin zu Kern-Schale Strukturen und sogar Janus-Partikeln (Abb. 2). Das Verfahren wurde als Aerosolprozess entwickelt, welcher ein hohes Maß an Kontrolle bietet, jedoch nur für kleine Produktmengen geeignet ist. Daher wurde das Verfahren in die Wirbelschicht überführt, um ein bis zum Produktionsmaßstab skalierbares System zu erhalten. 

Partikelbeschichtung mit CVD